Progettazione, preparazione e caratterizzazione di specchi piani a multistrato per l'estremo ultravioletto e i raggi x soffici
Autore
Stefano Pasquato - Università degli Studi di Padova - [2000-01]
Documenti
Abstract
Premessa
Questo lavoro di tesi si colloca nel campo della ricerca dei nanosistemi inorganici innovativi ed ha per oggetto la progettazione, la preparazione e la caratterizzazione di multistrati a base di molibdeno e silicio da impiegare con ottiche piane in riflessione nella regione dell’estremo ultravioletto e raggi X soffici, in particolare per le lunghezze d’onda di 13.0 nm, 19.0 nm e 26,4 nm.
Si è eseguita una selezione preliminare dei materiali elementari utilizzabili con cui si sono effettuate delle deposizioni con magnetron sputtering per la messa a punto dello strumento. Infine i multistrati depositati sono stati caratterizzati con varie tecniche di analisi (nucleari, ottiche).
La tesi si articola nei seguenti capitoli: nel capitolo 1 vengono spiegate le motivazioni che portano all’impiego degli specchi multistrato nell’ottica e le loro applicazioni applicazioni attuali e future; nel capitolo 2 vengono esposte le espressioni teoriche, le loro condizioni di validità e la modellizzazione dei difetti della struttura; nel capitolo 3 vengono presentati i criteri di selezione dei materiali, le loro simulazioni e la modellizzazione dei multistrati aperiodici; il capitolo 4 tratta del processo di deposizione e la messa a punto dello strumento; nel capitolo 5 si espongono i metodi di caratterizzazione impiegati e infine nel capitolo 6 i risultati delle analisi dei multistrati.
Questo lavoro di tesi si colloca nel campo della ricerca dei nanosistemi inorganici innovativi ed ha per oggetto la progettazione, la preparazione e la caratterizzazione di multistrati a base di molibdeno e silicio da impiegare con ottiche piane in riflessione nella regione dell’estremo ultravioletto e raggi X soffici, in particolare per le lunghezze d’onda di 13.0 nm, 19.0 nm e 26,4 nm.
Si è eseguita una selezione preliminare dei materiali elementari utilizzabili con cui si sono effettuate delle deposizioni con magnetron sputtering per la messa a punto dello strumento. Infine i multistrati depositati sono stati caratterizzati con varie tecniche di analisi (nucleari, ottiche).
La tesi si articola nei seguenti capitoli: nel capitolo 1 vengono spiegate le motivazioni che portano all’impiego degli specchi multistrato nell’ottica e le loro applicazioni applicazioni attuali e future; nel capitolo 2 vengono esposte le espressioni teoriche, le loro condizioni di validità e la modellizzazione dei difetti della struttura; nel capitolo 3 vengono presentati i criteri di selezione dei materiali, le loro simulazioni e la modellizzazione dei multistrati aperiodici; il capitolo 4 tratta del processo di deposizione e la messa a punto dello strumento; nel capitolo 5 si espongono i metodi di caratterizzazione impiegati e infine nel capitolo 6 i risultati delle analisi dei multistrati.
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