Realizzazione e caratterizzazione di ottiche a multistrato per la radiazione nell'estremo ultravioletto e raggi X soffici
Autore
Guido Salmaso - Università degli Studi di Padova - [2000-01]
Documenti
Abstract
In questo lavoro di tesi è stata messa a punto una tecnica di deposizione basata sul magnetron sputtering, che consente la realizzazione di specchi piani a multistrato del sistema Si/Mo ottimizzati per il funzionamento con radiazione di lunghezza d’onda tra 12 e 19 nm ad incidenza normale.
La tesi è così strutturata: nel capitolo 1 vengono descritti brevemente i principi di funzionamento degli specchi a multistrato per radiazione nella regione dell’estremo ultravioletto; nel capitolo 2 viene presentato lo stato dell’arte della produzione e delle proprietà di specchi nell’intervallo di lunghezze d’onda tra 2.3 nm e 30 nm. Sono passate in rassegna alcune tipologie di specchi tra i più utilizzati.Nel capitolo 3 viene descritta la parte sperimentale di deposizione per magnetron sputtering, le configurazioni utilizzate, i parametri di processo. Sono inoltre riportati i profili di deposizione ottenuti dell’apparato utilizzato.
Il capitolo 4 è dedicato alla caratterizzazione delle ottiche prodotte. Vengono presentati i risultati della caratterizzazione ottenuta con le tecniche TEM, XRR, XRD, AFM, e riflettività ad incidenza normale.
La tesi è così strutturata: nel capitolo 1 vengono descritti brevemente i principi di funzionamento degli specchi a multistrato per radiazione nella regione dell’estremo ultravioletto; nel capitolo 2 viene presentato lo stato dell’arte della produzione e delle proprietà di specchi nell’intervallo di lunghezze d’onda tra 2.3 nm e 30 nm. Sono passate in rassegna alcune tipologie di specchi tra i più utilizzati.Nel capitolo 3 viene descritta la parte sperimentale di deposizione per magnetron sputtering, le configurazioni utilizzate, i parametri di processo. Sono inoltre riportati i profili di deposizione ottenuti dell’apparato utilizzato.
Il capitolo 4 è dedicato alla caratterizzazione delle ottiche prodotte. Vengono presentati i risultati della caratterizzazione ottenuta con le tecniche TEM, XRR, XRD, AFM, e riflettività ad incidenza normale.
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