Applicazione di un dispositivo LIS per la sintesi di nanocristalli di Si in matrici di SiOxNy
Autore
Gabriele Congedo - Università degli Studi di Lecce - [2006-07]
Documenti
Abstract
La tesi si concentra sull'impiego di un dispositivo LIS (Laser Ion Source), che sfrutta il plasma prodotto da ablazione laser di target solidi, per la sintesi di nanocristalli (NC) di Si in una matrice amorfa, mediante la tecnica denominata Pulsed Laser Deposition (PLD). I campioni depositati sono stati poi caratterizzati mediante le tecniche XRD, SEM e AFM.
La deposizione è stata eseguita in condizioni differenti da quelle utilizzate tipicamente con gli apparati PLD; lo scopo della tesi è chiarire se un tale dispositivo possa produrre dei risultati confrontabili con quelli ottenuti mediante le tecniche convenzionali di deposizione.
La deposizione è stata eseguita in condizioni differenti da quelle utilizzate tipicamente con gli apparati PLD; lo scopo della tesi è chiarire se un tale dispositivo possa produrre dei risultati confrontabili con quelli ottenuti mediante le tecniche convenzionali di deposizione.
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